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怎样保持空间静电的动态平衡及无尘定义
来源:www.delesd.com 更新时间:2014/3/13 9:38:22浏览量:
1、 为什么净化工作台里我已用了离子风机,但是产品上还是有吸附灰尘的现象?
答:净化工作台里的气流方向一般是水平或者垂直,而风机产生的气流方向是旋转式的,由于风机产生的气流方向影响到了净化工作台的气流方向,导致净化工作台里的灰尘过滤受到极大的影响,灰尘不但无法过滤干净,而且会越积越多,最终影响到产品质量,所以在净化工作台里根据气压的大小,选择无气源式离子棒或者气源式离子棒。
2、 为什么我们已经用了离子风枪,但镜片上的灰尘还是去除不掉?
答:首先要掌握好压缩空气和离子量发射的比例,如果压缩空气的压力过大,比如超过1MPA,这时气流里的离子浓度不是很高,去除灰尘的能力主要还是靠压力的作用,这样使得镜片表面静电值升高,导致会吸附灰尘。另外镜片的材质主要是玻璃或者树脂材料,这些材料本身具有一定的粘性,所以灰尘并不一定是静电吸附上去的,而是粘上去的,这时候我们还是需要用无尘抹布擦拭比较合适。
3、 怎样才能保持空间静电的动态平衡?
答:需要装离子系统来保证空间的动态平衡,但基于生产产品的特性,如果对吸附灰尘要求很高的话,就必须建造无尘室,由于做离子系统的费用非常昂贵,一般客户会根据产品制程过程的重要性来决定是否会采用离子系统,不会对所有的生产区域都装离子系统。
一、无尘室定义
将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及
粒子,且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。
无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo(BCR)。
二、联邦规格无尘室等级
现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b),BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空
署5340.2规格)。
其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5
以下时,表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。
三、在JIS标准下,无尘室清洁度,共分为8个等级
一般清洁度是指空气的洁净等级,分为等级1、2•••8,8阶段。在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为
1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。
21世界,最尖端产业的发展,加速了产业结构的变革,无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化,尘埃和温湿
的变化对商品的完成度亦造成极大的危害,导致品质低下。伴随商品的高品质要求,环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中
用防尘材料及商品都显得格外重要。
所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。
1、环境危险程度控制;
2、工艺控制;
3、接地;
4、增加湿度;
5、抗静电添加剂;
6、静电中和器;
7、加强静电安全管理。 
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